蓝宝石(Sapphire)单晶基片
蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域(如耐高温红外窗口等)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜),也是重要的超导薄膜基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。
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晶体主要参数 | 晶系 | 六方晶系 | 晶格常数( ) | a=4.748 c=12.97 | 熔点(℃) | 2040 | 密度(g/cm3) | 3.98 | 比热(cal/g℃) | 0.181 | 莫氏硬度 | 9 | 热膨胀系数(/℃) | 5.8x10-6 | 介电常数 | 13.2 (⊥c方向) 11.4 (∥c方向) | 热导率(卡/度 厘米 秒) |
| ⊥c | ∥c |
| 23℃ | 0.055 | 26℃ 0.060 |
| 77℃ | 0.040 | 70℃ 0.041 | 特点 | 适于制作GaN及MgB2薄膜 | 切向 | <10-10> <1-102> <11-20> <0001> 等 |
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基片规格: | 尺寸: | 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, | Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″等 | 厚度: | 0.5mm,1.0mm | 表面抛光: | 单面或双面 | 晶面定向精度: | ±0.5° | 边缘定向精度: | 2°(特殊要求可达1°以内) | 斜切晶片: | 可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°~ 45°)的晶片 | Ra: | ≤5Å(5µm×5µm) |
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